Vor- und Nachteile von Hochvakuum-Öldiffusionspumpen

Vorteile:

Hohes Endvakuum:Kann Drücke von nur 10⁻⁴ bis 10⁻⁷ Pa erreichen und ist somit für die meisten Hochvakuumanwendungen geeignet.

Hohes Saugvermögen und große Verdrängung:Das Saugvermögen ist deutlich höher als bei vielen anderen Pumpen ähnlicher Größe und eignet sich daher ideal für große Kammern.

Einfache und zuverlässige Struktur:Die Pumpe hat keine beweglichen mechanischen Teile, was bedeutet, dass es weder Verschleiß noch Vibrationen oder Geräusche gibt, was zu einer langfristigen Zuverlässigkeit beiträgt.

Niedrige Kosten und einfache Wartung:Die Anschaffungskosten der Pumpe sind relativ gering, bei minimalem Wartungsaufwand und langer Lebensdauer.

Beständig gegen kleine Mengen Staub und Verunreinigungen:Langlebiger als Molekularpumpen, wenn sie kleinen Mengen Staub oder Verunreinigungen ausgesetzt sind.

Nachteile:

Risiko einer Ölverunreinigung:Öldampf kann in die Kammer zurückströmen und möglicherweise die Vakuumumgebung und die Werkstücke verunreinigen.

Erfordert eine Vorpumpe:Es kann nicht direkt mit atmosphärischem Druck pumpen und ist für den Betrieb auf eine mechanische Pumpe oder eine Rootspumpe angewiesen.

Langsamer Start-Start und Abkühlung:Die Pumpe benötigt Zeit zum Aufheizen auf Betriebstemperatur und zum Abkühlen beim Abschalten.

Empfindlich gegenüber atmosphärischer Belastung:Das Öffnen der Pumpe bei hohen Temperaturen kann dazu führen, dass das Öl schnell oxidiert und sich zersetzt, was zum Ausfall der Pumpe führt.

Relativ hoher Energieverbrauch:Während des Betriebs ist eine kontinuierliche Heizung und Wasserkühlung erforderlich, was den Gesamtenergieverbrauch erhöht.